Probe Station

Linear 4-Point Probe (4PP)

Keithey 2410

วิเคราะห์ V-I Curve, Sheet Resistance, Resistivity ใช้ศึกษาความต้านทานของตัวนำและสารกึ่งตัวนำ โดยทำการวิเคราะห์ 3 - 5 จุด ต่อตัวอย่าง ขึ้นอยู่กับขนาดของตัวอย่าง ขนาดชิ้นงานควรใหญ่กว่า 2 × 2 cm ทำได้เฉพาะอุณหภูมิห้อง 25±3 °C ฟิล์มบางต้องมีค่านำไฟฟ้าสูงกว่าแผ่นรองรับ (Substate)

Van der Pauw Hall Effect

Yokogawa 7561

วิเคราะห์หา Resistivity (ความต้านทาน) และ Hall Coefficient (สัมประสิทธิ์ของฮอลล์) เพื่อคำนวณหาค่า Mobility และ Charge Concentration

ใช้วิเคราะห์ตัวอย่างที่เป็นสารกึ่งตัวนำ ตัวนำ และฟิล์มบางนำไฟฟ้า ที่เป็นแผ่นผิวเรียบขนาดไม่เกิน 1 × 1 cm หนาไม่เกิน 1 mm วัดได้เฉพาะอุณหภูมิห้อง 25±3 °C ความต้านของตัวอย่างไม่เกิน 3 เมกะโอห์ม

Impedance Analyzer

Agilent Technologies with 4294A Precision Impedance Analyzer

วิเคราะห์ค่า Impedance ในช่วง 40 Hz - 110 MHz และค่า Dielectric Constant 

ตัวอย่างเป็นของแข็งที่มีการทำขั้วตัวนำไฟฟ้าแล้ว สามารถวัดได้เฉพาะอุณหภูมิห้อง 25±3 °C

Potentiostat Galvanostat

Princeton Applied Research with Versa STAT4

สามารถใช้วิเคราะห์ผลทางไฟฟ้าเคมี (V-I) , Energy Storage, การเคลือบทางไฟฟ้าเคมี, Electro Chemical Impedance Spectroscopy (EIS) ใช้กับตัวอย่างที่เป็น ฟิล์มโลหะ วัสดุผสม และแกรไฟต์

ช่วงของการวัดวิเคราะห์