XRF (X-ray for analysis material by ED-XRF method) ใช้วิเคราะห์หาชนิดและปริมาณธาตุในสารตัวอย่างโดยอาศัยหลักการการกระจายพลังงานของรังสีเอกซเรย์ฟลูออเรสเซนต์ สามารถวิเคราะห์ทั้งเชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ สามารถวิเคราะห์ตัวอย่างได้ตั้งแต่ธาตุ Na ถึง U สามารถวิเคราะห์ได้ต่ำสุดที่ระดับ 10 - 15 ppm สามารถวัดความหนาของชิ้นงานได้
วัดสัญญาณการกระเจิงแสงแบบ Raman (Raman spectroscopy) ผ่านรูปแบบกล้องจุลทรรศน์ รูปแบบสายใยแก้วนำแสง และรูปแบบการส่องผ่านแสง สามารถทำ mapping สัญญาณ และสามารถปรับเปลี่ยนอุณหภูมิของตัวอย่างขณะการวัดได้
แหล่งกำเนิดแสงเลเซอร์ความยาวคลื่น 532 และ 785 นาโนเมตร
เกรตติงขนาด 1800 และ 600 ร่องต่อมิลลิเมตร
เลนส์ที่กำลังขยาย 5 เท่า, 10 เท่า, 100 เท่า และ 50x แบบ LWD (Long Working Distance)
ปรับเปลี่ยนอุณหภูมิตัวอย่างได้ในช่วง -25 ถึง 120 องศาเซลเซียส ด้วยระบบ Thermoelectric
สำหรับวิเคราะห์เพื่อระบุชนิด และปริมาณของสารต่างๆ โดยใช้ช่วงความยาวคลื่น 200 – 20000 nm สามารถวิเคราะห์ค่าการส่งผ่าน (Transmittance) ค่าการดูดกลืน (Absorbance) ค่าการสะท้อน (Reflection) และ ค่า fluorescent ของตัวอย่างได้ ตัวอย่างเป็นของแข็งโปร่งแสง ฟิล์มบาง (Thin film) สารละลาย และ ผง
สำหรับวิเคราะห์เพื่อระบุชนิด และปริมาณของสารต่างๆ โดยใช้ช่วงความยาวคลื่น 200 – 1000 nm สามารถวิเคราะห์ค่าการส่งผ่าน (Transmittance) และค่าการดูดกลืน (Absorbance) แสงของวัสดุได้ ตัวอย่างเป็นของแข็งโปร่งแสง ฟิล์มบาง (Thin film) สารละลาย